Beim SOLL-/ IST-Vergleich werden die Scandaten mit dem CAD-Datensatz oder einem Referenzmodell verglichen. Dieser Vorgang ist vor allem für die Qualitätssicherung von großer Bedeutung.

Der SOLL-/ IST-Vergleich wird darüber hinaus auch angewendet, um die Abnutzung eines Werkzeuges oder Bauteiles zu lokalisieren und zu quantifizieren, Verformungen aufzudecken oder gelieferte Ware auf Maßhaltigkeit zu überprüfen.